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凈化工程設計時的五大特性

1、適應性:一些廠商認為適應性可節(jié)省一筆錢,而適應性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致較大的損失。C/R的擁有者和設計者的能力為改變一C/R的關鍵,所以他們從不將的設計定型。

2、清洗:在制藥和生物工學工業(yè),無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過性病毒的污染之特性。在biotech市場,清洗真正地是一個重要的企業(yè)。

3、成本:微電子C/R建設費可能花費到$10億。能更快的被建造起來,產(chǎn)品也就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個重要的考慮因素。

4、維護性:對凈化工程C/R而言,較嚴格要求的部分為地板、天花板,以及墻壁的部分。維修的問題,對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優(yōu)先級。在應用力面、天花板、地板及墻壁三者之中重要的為天花板,其包含HEPA及ULPA等濾網(wǎng),其可過濾掉房間的微粒子,且其常會因各個不同的需要,便其分開來,供應各個不同區(qū)域的小房間,曾有人說:若建造之預算因某種原因被限制,除了少數(shù)的小錢外,其天花板將趨于更貴的地步,其實天花板是一個頗復雜的系統(tǒng)其必須嚴格地過濾粒子。

5、耐久性:無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性,同時也依賴無塵室等級來建造。半導體Fabs傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質(zhì)。


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